CN119542207A 用于晶圆干燥控制的系统、方法及装置 （北京日扬弘创智能装备有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119542207A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202510106008.4

(22)申请日2025.01.23

(71)申请人北京日扬弘创智能装备有限公司

地址100000北京市大兴区青云店镇青正

街8号546室平房（集群注册）

(72)发明人葛成重耿喜平关仁杰郭占旗

王宏声

(74)专利代理机构北京科智兴企知识产权代理

有限公司16275

专利代理师肖爱华

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/687(2006.01)

F26B21/00(2006.01)