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CN115074832B 一种判断籽晶接液水平度的装置及方法 （北京清研半导科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-03-26 发布于山西
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CN115074832B 一种判断籽晶接液水平度的装置及方法 （北京清研半导科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN115074832B

    (45)授权公告日2025.05.20

    (21)申请号202210918776.6

    (22)申请日2022.08.02

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN115074832A

    (43)申请公布日2022.09.20

    (73)专利权人北京清研半导科技有限公司

    地址101300北京市顺义区中关村科技园

    区顺义园临空二路1号

    (72)发明人梁刚强苏奕霖李强陈雅薇

    (74)专利代理机构北京高沃律师事务所11569专利代理师石佳

    (51)Int.Cl.

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