HZ华卓精科集成电路智能装备及关键零部件晶圆堆叠设备 精密 超精密运动平台 隔振器 激光退火设备用户手册.pdf

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华卓精科

产品介绍

北京华卓精科科技股份有限公司

公司位置

北京华卓精科科技股份有限公司(简称华卓精

科)由清华大学IC装备团队创立,是一家肩负着专

项重大科研成

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