CN120015630A 晶圆级铌酸锂异质键合方法 (国科光芯金杏(北京)实验室科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-03-29 发布于重庆
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CN120015630A 晶圆级铌酸锂异质键合方法 (国科光芯金杏(北京)实验室科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120015630A

(43)申请公布日2025.05.16

(21)申请号202510124212.9

(22)申请日2025.01.26

(71)申请人国科光芯金杏(北京)实验室科技有

限公司

地址101499北京市怀柔区大中富乐村北

红螺东路21号56幢1层106-15室

(72)发明人刘敬伟蔡丰任李春龙李超

周良张彦乐花晓强

(74)专利代理机构北京清大紫荆知识产权代理

有限公司11718

专利代理师周晓飞

(51)Int.Cl.

H01L21/50(2006.01)

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