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差分型MEMS电容薄膜真空计检测电路设计与性能分析.pdfVIP

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  • 2026-03-31 发布于江西
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差分型MEMS电容薄膜真空计检测电路设计与性能分析.pdf

    第卷第期()

    646厦门大学学报自然科学版Vol.64No.6

    年月()

    202511JournalofXiamenUniversitNaturalScienceNov.2025

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    doi10.6043.issn.0438-0479.202411013

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    差分型MEMS电容薄膜真空计检测电路设计与性能分析

    1123431*

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    张建寰陈旭刘岩康品春冯勇建阮育姣张陈涛

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