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超精密加工工艺工程师考试试卷及答案

一、填空题（共10题，每题1分）

1.超精密加工的精度通常定义在______以下。

2.超精密加工中常用的无接触轴承是______。

3.金刚石刀具不能加工的金属材料是______族元素材料。

4.超精密加工环境控制的核心要素包括温度、湿度、振动和______。

5.纳米级表面测量常用的仪器是原子力显微镜（AFM）和______。

6.超精密加工的关键技术包括机床、刀具、测量和______。

7.化学机械抛光（CMP）的基本作用是实现工件表面的______。

8.超精密磨削的磨粒尺寸通常小于______μm。

9.超精密加工中工件装夹常用的无应力方式是______。

10.超精密加工的应用领域包括光学元件、半导体芯片和______。

二、单项选择题（共10题，每题2分）

1.超精密加工的精度等级一般为（）

A.10μm以下B.1μm以下C.0.1μm以下D.100nm以下

2.金刚石刀具不适用于加工（）

A.铝B.铜C.钢D.塑料

3.空气轴承的主要特点是（）

A.摩擦大B.精度低C.无接触D.易磨损

4.超精密加工环境温度控制精度通常要求（）

A.±0.1℃B.±1℃C.±0.5℃D.±2℃

5.激光干涉仪的测量分辨率可达（）

A.1nmB.10nmC.1μmD.0.1μm

6.超精密研磨的加工精度可达（）

A.10nmB.1nmC.0.1nm