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超高真空系统设计工程师考试试卷及答案

一、填空题（共10题，每题1分）

1.超高真空的压力范围通常为______Pa以下。

2.基于动量传递原理的超高真空抽气泵是______泵。

3.可测超高真空的电离规是______电离规（冷/热）。

4.氦质谱检漏的核心检测气体是______。

5.捕集可凝性气体的真空部件是______。

6.离子泵阴极常用材料为______（钛/钢）。

7.超高真空下，分子间碰撞频率______分子与器壁碰撞频率（小于/大于）。

8.超高真空密封常用金属材料是______（铜/橡胶）。

9.钛升华泵主要抽除______气体（活性/惰性）。

10.泄漏率单位常用______·m3/s表示。

二、单项选择题（共10题，每题2分）

1.不能用于超高真空的泵是（）

A.旋片泵B.分子泵C.离子泵D.钛升华泵

2.极限真空最高的泵是（）

A.旋片泵B.扩散泵C.离子泵D.机械泵

3.超高真空检漏最灵敏的方法是（）

A.卤素检漏B.氦质谱检漏C.压力升法D.超声检漏

4.真空室常用材料不包括（）

A.不锈钢B.铝合金C.铜D.塑料

5.分子泵的抽气原理是（）

A.动量传递B.吸附C.电离D.冷凝

6.离子泵阳极结构通常为（）

A.钛板B.不锈钢圆筒C.钼丝D.石墨

7.冷阱常用制冷剂是（）

A.液氮B.液氧C.液氢D.液氦

8.烘烤的主要目的是（）

A.冷却泵体B.降低