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CN115470648B 一种偏压感应耦合等离子体源优化方法、系统及电子设备 （大连理工大学）.docxVIP

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  • 2026-03-31 发布于山西
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CN115470648B 一种偏压感应耦合等离子体源优化方法、系统及电子设备 （大连理工大学）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN115470648B

    (45)授权公告日2025.05.16

    (21)申请号202211188157.2

    (22)申请日2022.09.28

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN115470648A

    (43)申请公布日2022.12.13

    (73)专利权人大连理工大学

    地址116024辽宁省大连市甘井子区凌工

    路2号

    (72)发明人赵明亮张钰如高飞王友年

    (74)专利代理机构北京高沃律师事务所11569专利代理师万慧华

    (51)Int.Cl.

    G06F30/20

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