CN111477564B 基板处理装置、基板处理系统以及基板处理方法 (东京毅力科创株式会社).docxVIP

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  • 2026-04-01 发布于山西
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CN111477564B 基板处理装置、基板处理系统以及基板处理方法 (东京毅力科创株式会社).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN111477564B

(45)授权公告日2025.07.15

(21)申请号202010074294.8

(22)申请日2020.01.22

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111477564A

(43)申请公布日2020.07.31

(30)优先权数据

2019-0098312019.01.24JP

(73)专利权人东京毅力科创株式会社地址日本东京都

(72)发明人林圣人野口耕平东广大绪方诚

(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277

专利

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