微纳光学结构集成功能材料的湿度和二氧化碳传感研究.pdf

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微纳光学结构集成功能材料的湿度和二氧化碳传感研究

摘要

湿度及二氧化碳的准确检测在工业生产、气象环境、生命科学、医学健康等诸多

领域具有重要意义。微纳结构传感器具备可调控性强、尺寸小、制备效率高等优点引

起了广泛关注。本文设计了基于微纳光学结构集成功能材料的湿度传感器和二氧化碳

传感器,主要研究内容为:

(1)设计并制作了一种微结构集成功能材料的湿度传感器,传感器结构为锥形

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