原创力文档昆山市重点实验室项目拟立项清单
序号项目名称单位名称
1昆山市集成电路先进湿法设备重点实验室苏州智程半导体科技股份有限公司
艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公
2昆山市纳米薄膜材料重点实验室
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