CN119935354A 一种面内反相振动硅微谐振式压力传感器及制造方法 (重庆大学).pdfVIP

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  • 2026-04-03 发布于重庆
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CN119935354A 一种面内反相振动硅微谐振式压力传感器及制造方法 (重庆大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119935354A

(43)申请公布日2025.05.06

(21)申请号202510132323.4

(22)申请日2025.02.06

(71)申请人重庆大学

地址400030重庆市沙坪坝区沙正街174号

(72)发明人李东玲温泉李晓伟

(74)专利代理机构北京睿智保诚专利代理事务

所(普通合伙)11732

专利代理师徐健

(51)Int.Cl.

G01L1/10(2006.01)

G01L9/00(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图3页

(54)发明名称

一种面内反相振动硅微谐振式压力

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