CN119890096A 一种高度集成的自动化生产设备及方法 （重庆英能威森智能科技有限责任公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119890096A

(43)申请公布日2025.04.25

(21)申请号202510132909.0

(22)申请日2025.02.06

(71)申请人重庆英能威森智能科技有限责任公

司

地址402460重庆市荣昌区昌州街道创新

大道5号17幢3-1

(72)发明人林仲添付文武江木华

(74)专利代理机构重庆千石专利代理事务所

(普通合伙)50259

专利代理师李志超

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/677(2006.01)

H01L21/50(2006.01)