CN119935662A 一种用于晶圆传送盒内污染物检测的取样装置及取样方法 （深圳市昇维旭技术有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119935662A

(43)申请公布日2025.05.06

(21)申请号202510135881.6

(22)申请日2025.02.06

(71)申请人深圳市昇维旭技术有限公司

地址518000广东省深圳市龙岗区平湖街

道辅城坳社区新源三巷1号B栋104

(72)发明人徐小明苗旭丽陈丽媛陆金德

(74)专利代理机构北京磐华捷成知识产权代理

有限公司11851

专利代理师翟海青

(51)Int.Cl.

G01N1/24(2006.01)

G01N1/22(2006.01)

G01N1/10(2006.01)

G01N1/34(2006.01)