原创力文档石英晶体微天平
AWSX1石英晶体微天平
AWSX1石英晶体微天平基于声波传感原理，可通过石英传感器频率和耗散
变化来检测芯片表面质量和结构变化。适用于刚性和粘弹性薄膜，具有倍频操作
模式，可给出薄膜的粘度，弹性模量，粘性模量，厚度等信息。测试频率高达
2
160MHz，灵敏度
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