半导体级石英锭
I.应用领域
半导体级石英锭作为反应室直接接触的各类石英装置
的基础材料,应用于半导体晶圆制程工艺中。
II.产品特性
半导体级石英锭具备纯度高、低羟基、耐高温、微气泡少等特性。
III.产品类型
PQ811E、PQ811EH
IV.产品规格
尺寸范围(OD*H)
1800±20*600±20mm
V.物理化学性能
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