PQ半导体级石英锭石英装置PQ811E PQ811EH说明书用户手册.pdf

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半导体级石英锭

I.应用领域

半导体级石英锭作为反应室直接接触的各类石英装置

的基础材料,应用于半导体晶圆制程工艺中。

II.产品特性

半导体级石英锭具备纯度高、低羟基、耐高温、微气泡少等特性。

III.产品类型

PQ811E、PQ811EH

IV.产品规格

尺寸范围(OD*H)

1800±20*600±20mm

V.物理化学性能

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