CN119882361A 靶材循环系统的使用方法以及靶材循环系统 （朗道科技(南京)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119882361A

(43)申请公布日2025.04.25

(21)申请号202510138133.3

(22)申请日2025.02.07

(71)申请人朗道科技（南京）有限公司

地址210039江苏省南京市雨花台区铁心

桥街道铁心桥大街36号02幢318室

(72)发明人王豪

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

11332

专利代理师李晓萌

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图1页

(54)发明名称

靶材循环系统的使用方法以及靶材循环系