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- 2026-04-06 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120174477A
(43)申请公布日2025.06.20
(21)申请号202510141615.4H01J37/32(2006.01)
C30B29/04(2006.01)
(22)申请日2025.02.08
C23C16/02(2006.01)
(71)申请人河南天璇半导体科技有限责任公司C23C16/27(2006.01)
地址450000河南省郑州市河南自贸试验
区郑州片区（郑东）龙湖中环路与龙源
西四街交叉口启迪郑东科技城产促中
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