CN119663431A 一种在坩埚内部放置石墨件来提升碳化硅粉料利用率的方法 (北京天科合达半导体股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-04-06 发布于重庆
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CN119663431A 一种在坩埚内部放置石墨件来提升碳化硅粉料利用率的方法 (北京天科合达半导体股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119663431A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202510145303.0

(22)申请日2025.02.10

(71)申请人北京天科合达半导体股份有限公司

地

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