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CN114551564B 半导体结构及其形成方法 （中芯北方集成电路制造(北京)有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-07 发布于山西
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CN114551564B 半导体结构及其形成方法 （中芯北方集成电路制造(北京)有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN114551564B

    (45)授权公告日2025.05.02

    (21)申请号202011354430.5

    (22)申请日2020.11.26

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114551564A

    (43)申请公布日2022.05.27

    (73)专利权人中芯北方集成电路制造（北京）有限公司

    地址100176北京市大兴区北京经济技术

    开发区文昌大道18号9幢

    (72)发明人蔡巧明张烨王哲

    (74)专利代理机构上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31327

    专利代理师高

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