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硅材料生产与工艺手册

第1章硅材料基础与制备原理

1.1硅材料的基本性质

硅（Si）是元素周期表中第14号元素，原子序数为14，其原子量约为28.085g/mol。硅是地壳中含量第二多的元素，仅次于氧，主要以二氧化硅（SiO?）形式存在。硅具有良好的半导体性质，其导电率在常温下介于金属和绝缘体之间，是重要的半导体材料。

硅的晶体结构为金刚石结构，属于共价晶体，具有高硬度（莫氏硬度7）和高熔点（1410°C）。硅的导电率受温度影响显著，温度升高时，导电率会显著下降，这是其在半导体器件中的重要特性。硅材料在常温下具有良好的热稳定性，但在高温下容易发生氧化反应，因此在高温工艺中