基于PLC的晶圆自动测试系统的设计与实现.docx

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基于PLC的晶圆自动测试系统的设计与实现

基于PLC的晶圆自动测试系统的设计与实现

DesignandImplementationofAutomaticWaferTestSystemBasedonPLC

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摘要

可编程逻辑控制器（ProganmableLogicCoroller,简称PLC)是一种可编程存储设备，广泛应用于工业控制领域。随着中国半导体行业的快速发展，半导体产业已经扩展到生活消费类电子、新能源类、智能家居类等等。由于应用范围与应用类型的不断扩充，因此对于半导体晶圆的要求也就越来越高。为了满足这一需求，本