《应用光学》_第14章.pptVIP

图１４－５ＣＭＯＳ构成示意图返回图１４－７返回图１４－８返回图１４－９返回表１４－１光学材料的光热膨胀系数和镜筒材料的热膨胀系数返回图１４－１０光学系统坐标系返回表１４－２二次曲面面型返回图１４－１２两镜系统示意图返回图１４－１３返回图１４－１４返回图１４－１５无焦系统示意图返回14.3衍射光学元件在光学系统中应用最广泛的是基于折射和反射原理的光学元件，如透镜、棱镜、反射镜等。在２０世纪８０年代之前，基于光波衍射理论的衍射元件在成像系统中的应用较少，全息光学元件作为战斗机平视显示器上的合束器是为数不多的成功实例之一。全息元件制作工艺复杂，成本高昂，较难推广到其他应用领域。自从美国麻省理工学院林肯实验室提出二元光学的概念后，衍射光学元件在国际上得到迅速发展。这种新型衍射元件表面带有浮雕结构，在设计波长上可以形成极高的衍射效率。在二元光学发展的早期，人们采用大规模集成电路的生产方法制作二阶相位型元件。随着高分辨率掩模板制作技术的发展和掩模套刻对准精度的提高，得以加工多阶相位二元光学元件以提高衍射效率。２０世纪９０年代发展起来的激光和电子束直写技术，进下一页返回14.3衍射光学元件一步消除了掩模套刻对准误差和离散化相位的影响，使在曲面表面上制作具有连续分布表面浮雕结构的衍射光学元件成为可能。在成像系统中，衍射光学元件与