原创力文档摘要
摘要
随着精密定位技术的进步，产业不断向高精度、微型化方向发展。基于压电材料的
压电陶瓷定位平台，以其响应迅速、分辨率高等特点，在高精度工程中得到广泛应用，
并在众多领域中发挥着关键作用。然而，压电材料的使用会引入迟滞非线性，严重降低
定位精度，造成跟踪定位误差。因此，本文以压电陶瓷定位平台为研究对象，分析其迟
滞非线性建模及跟踪定位控制方法，以提高其定位精度和控制性能。
首先，对压电陶瓷定位平台系统的电路及机械特性进行了分析，并建立
摘要
摘要
随着精密定位技术的进步，产业不断向高精度、微型化方向发展。基于压电材料的
压电陶瓷定位平台，以其响应迅速、分辨率高等特点，在高精度工程中得到广泛应用，
并在众多领域中发挥着关键作用。然而，压电材料的使用会引入迟滞非线性，严重降低
定位精度，造成跟踪定位误差。因此，本文以压电陶瓷定位平台为研究对象，分析其迟
滞非线性建模及跟踪定位控制方法，以提高其定位精度和控制性能。
首先，对压电陶瓷定位平台系统的电路及机械特性进行了分析，并建立
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