CN119993829A 一种激光退火方法及装置 （深圳市昇维旭技术有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119993829A

(43)申请公布日2025.05.13

(21)申请号202510157918.5

(22)申请日2025.02.12

(71)申请人深圳市昇维旭技术有限公司

地址518000广东省深圳市龙岗区平湖街

道辅城坳社区新源三巷1号B栋104

(72)发明人张祥

(74)专利代理机构广东君龙律师事务所44470

专利代理师陈琴

(51)Int.Cl.

H01L21/268(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图5页

(54)发明名称

一种激光退火方法及装置