CN117081424B 超大负载堆叠型摩擦式压电磁力混动微纳台及驱动方法 (浙江大学).docxVIP

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  • 2026-04-09 发布于山西
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CN117081424B 超大负载堆叠型摩擦式压电磁力混动微纳台及驱动方法 (浙江大学).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN117081424B

(45)授权公告日2025.06.20

(21)申请号202310998322.9

(22)申请日2023.08.09

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN117081424A

(43)申请公布日2023.11.17

(73)专利权人浙江大学

地址310058浙江省杭州市西湖区余杭塘

路866号

(72)发明人韩冬乔广达彭泽钦周如林王统诚龚国芳杨华勇

(74)专利代理机构杭州求是专利事务所有限公司33200

专利代理师郑海峰

(51)I

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