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氮化铝生产与应用手册

第1章氮化铝材料概述

1.1氮化铝的基本性质

氮化铝（AlN）是一种无机非金属化合物，化学式为AlN，属于六方晶系，具有高熔点、高硬度和良好的热稳定性。AlN的密度为3.24g/cm3，熔点高达2050°C，沸点为2500°C，是已知陶瓷材料中热稳定性最好的之一。

AlN具有高抗弯强度和高热导率，其热导率约为150W/m·K，是陶瓷材料中热导率较高的之一。AlN在高温下具有良好的化学稳定性，对大多数酸、碱和有机溶剂具有良好的耐腐蚀性。AlN的晶体结构为六方晶系，晶格常数a=3.14?，c=5.26?，晶格参数与Al?O?相似，具有良好的晶体生长性能。

AlN在室温下具有良好的导电性，其电阻率在10??Ω·cm量级，是优良的半导体材料之一。AlN的热膨胀系数较低，约为3.5×10??/°C，具有良好的热膨胀匹配性，适合用于高温陶瓷器件。AlN在高温下具有良好的抗氧化性能，其在1500°C以下的氧化气氛中仍能保持稳定，是高温陶瓷材料的重要组成部分。

1.2氮化铝的制备方法

氮化铝的制备方法主要包括化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、高温烧结和溶胶-凝胶法等。化学气相沉积（CVD）是目前最常用的方法，通过高温分解气态氮和铝源，AlN薄膜。

CVD制备AlN通常采用铝硅烷（AlSiH?）或铝乙炔（AlC