无尘车间监理预验收报告.docx

无尘车间监理预验收报告

一、预验收工作概况

本工程为高端芯片封装万级无尘车间项目,位于某国家级电子信息产业园三期1栋首层,总建筑面积2860㎡,其中万级洁净生产区面积2120㎡,核心封装区域局部百级洁净区面积240㎡,人员净身、物料净化、洁具存放等辅助配套区域面积500㎡。本工程设计依据芯片封装生产工艺要求,洁净度等级执行ISO14644-1Class7(对应传统万级),核心封装区为ISO14644-1Class5(对应传统百级),设计环境参数为温度22±2℃、相对湿度45%~65%RH,洁净区对室外静压差不小于10Pa,对相邻非洁净区静压差不小于15Pa,系统采用组合式净化空调箱

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