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CN118967648B 一种晶圆检测方法、装置、存储介质及设备 （匠岭科技(上海)有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-13 发布于山西
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CN118967648B 一种晶圆检测方法、装置、存储介质及设备 （匠岭科技(上海)有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN118967648B

    (45)授权公告日2025.07.11

    (21)申请号202411168197.X

    (22)申请日2024.08.22

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN118967648A

    (43)申请公布日2024.11.15

    (73)专利权人匠岭科技（上海）有限公司

    地址201306上海市浦东新区中国（上海）

    自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼

    (72)发明人倪赛健党江涛王英

    (74)专利代理机构北京博思佳知识产权代理有限公司11415

    专利代理师

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