CN120122388A 缺陷筛选方法、设备和计算机可读存储介质 （深圳晶源信息技术有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120122388A

(43)申请公布日2025.06.10

(21)申请号202510173661.2G03F1/72(2012.01)

(22)申请日2025.02.17

(71)申请人深圳晶源信息技术有限公司

地址518000广东省深圳市福田区福保街

道福保社区红棉街8号英达利科技数

码园C栋401A

(72)发明人孙志高张卓罗兆峰

(74)专利代理机构北京东方亿思知识产权代理

有限责任公司11258

专利代理师杨永恒

(51)Int.Cl.

G03F1/84(2012.01)

G06T7/00(2017.