抛光机器人运动建模及轨迹规划研究.pdfVIP

摘要

随着光刻机、空间望远镜等尖端装备向着超高精度与极限性能发展，其核心光学元件

的面形复杂度已突破传统加工极限。在此背景下，工业机器人抛光技术凭借六自由度运动

构型带来的空间柔性优势，为复杂面形加工开辟了新路径。然而，该技术目前仍面临若干

关键挑战，主要包括：需构建高精度运动模型以提升抛光轨迹定位精度；规律性抛光轨迹

易在元件表面引入中频误差；以及抛光轨迹优化需综合考虑去除函数与驻留时间等工艺

参数进行协同设计。为此，本文聚焦上述核心问题，系统性地开展了以下研究：

(1)基于对偶四元数的坐标变换原理，深入分析抛光机器人在三维空间中的运动学特

性，建立其运动学模型。为评估模型求解效率，利用MATLAB进行抛光轨迹运动误差仿

真分析，定量对比基于对偶四元数的方法与传统D-H法在计算性能上的差异。

(2)基于Preston方程与赫兹接触理论，建立抛光过程中气囊压力分布及接触区域的

解析模型。同时，探讨卷积迭代法和矩阵法两种驻留时间求解算法，构建驻留时间求解模

型，旨在优化抛光材料去除均匀性。通过仿真，对比分析了两种算法对材料去除均匀度的

影响。

(3)系统分析抛光轨迹与气囊进给等因素引起的误差机理，阐明不同频段误