CN119615359A 一种分子束外延生长控制方法及源炉装置 （合肥芯胜半导体有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119615359A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202510152224.2

(22)申请日2025.02.12

(71)申请人合肥芯胜半导体有限公司

地址238000安徽省合肥市巢湖市巢湖经

济开发区半汤湖生态科创城产业发展

中心3号厂房

(72)发明人郭宏娜刘冰冰

(74)专利代理机构北京同辉知识产权代理事务

所(普通合伙)11357

专利代理师李晶

(51)Int.Cl.

C30B25/16(2006.01)

C30B23/00(2006.01)

C30B23/02(2006.01)