CN119619175A 一种半导体检测设备智能标定方法及系统 （北京嘉海鼎盛科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119619175A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202510152388.5

(22)申请日2025.02.12

(71)申请人北京嘉海鼎盛科技有限公司

地址100000北京市朝阳区化工路59号院1

号楼1至14层01内A座十二层1501室

(72)发明人张特张蕊张家豹

(74)专利代理机构深圳医工知识产权代理事务

所(普通合伙)441231

专利代理师许文青

(51)Int.Cl.

G01N21/95(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

权利要求书2页说明书8