CN119608516A 旋涂装置、旋涂方法及电子设备 (北京大学).pdfVIP

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  • 2026-04-13 发布于重庆
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CN119608516A 旋涂装置、旋涂方法及电子设备 (北京大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119608516A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202510152131.X

(22)申请日2025.02.12

(71)申请人北京大学

地址100871北京市海淀区颐和园路5号

(72)发明人段慧玲胡运兴黄建永

(74)专利代理机构北京鸿元知识产权代理有限

公司11327

专利代理师王守梅袁文婷

(51)Int.Cl.

B05C11/08(2006.01)

B05C11/10(2006.01)

B05C11/00(2006.01)

B05D1/00(2006.01)

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