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- 2026-04-13 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119608675A
(43)申请公布日2025.03.14
(21)申请号202510159062.5H01L21/67(2006.01)
B08B3/08(2006.01)
(22)申请日2025.02.13
B08B3/04(2006.01)
(71)申请人厦门银科启瑞半导体科技有限公司B08B13/00(2006.01)
地址361101福建省厦门市火炬高新区石
墨烯新材料产业园五显路866-8号
101A室
(72)发明人张
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