《光刻胶剥离液》征求意见稿.pdf.docxVIP

ICS31.080.10CCSL55

团体标准

T/CAEEXX-2026

光刻胶剥离液

Photoresiststripper

(征求意见稿)

202X-XX-XX发布

202X-XX-XX实施

中国电子装备技术开发协会发布

T/CAEEX-2026

目次

前言 II

1范围 3

2规范性引用文件 3

3术语和定义 3

4技术要求 3

4.1外观 3

4.2理化性能 3

5试验方法 4

5.1pH值测定 4

5.2活性成分含量测定 4

5.3密度测定 4

5.4含水量测定 4

5.5溶解速率测定 4

6检验规则 4

6.1检验分类 4

6.2取样规则 4

6.3判定规则 4

7标志、包装、运输及贮存 4

7.1标志与标签 4

7.2包装 4

7.3运输 4

7.4贮存 4

8质量保证与安全措施 5

8.1安全性 5

8.2环境要求 5

前言

本文件按照GB/T1.1—2020