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毕业设计（论文）报告
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钛合金紧固件表面掺钛类金刚石薄膜的微观结构和磨损性能
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钛合金紧固件表面掺钛类金刚石薄膜的微观结构和磨损性能
摘要：本文研究了钛合金紧固件表面掺钛类金刚石薄膜的微观结构和磨损性能。通过物理气相沉积（PVD）技术在钛合金紧固件表面制备了掺钛类金刚石薄膜，并利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和透射电子显微镜（TEM）等手段对薄膜的微观结构进行了分析。结果表明，掺钛类金刚石薄膜具有致密的晶粒结构和良好的结合强度。进一
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