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ZnO金刚石复合薄膜制备技术与性能优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学的持续发展进程中，复合薄膜材料凭借其独特的性能组合，在多个领域展现出了广阔的应用前景。ZnO金刚石复合薄膜作为一种新型的复合薄膜材料，融合了ZnO和金刚石的优异特性，在电子学、光学、机械等领域具有潜在的应用价值。

ZnO是一种Ⅱ-Ⅵ族宽禁带直接带隙化合物半导体材料，室温下禁带宽度约为3.37eV，具有高的导电性、高的化学稳定性以及耐高温性质，激子结合能高达60meV，可用于制造短波长发光材料。其还具备良好的压电常数与机电耦合系数，可用作各种压电、电声与声光器件，因电阻率随表面吸附的气