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CN119397177A 离子注入机稳定性的监控方法以及故障检测与分类系统 （晶芯成(北京)科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-15 发布于山西
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CN119397177A 离子注入机稳定性的监控方法以及故障检测与分类系统 （晶芯成(北京)科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119397177A

    (43)申请公布日2025.02.07

    (21)申请号202510000247.1

    (22)申请日2025.01.02

    (71)申请人晶芯成（北京）科技有限公司

    地址100176北京市大兴区北京经济技术

    开发区科创十三街29号院一区2号楼13层1302-C54

    申请人合肥晶合集成电路股份有限公司

    (72)发明人吝辉辉王曼真方驰宇

    (74)专利代理机构北京成创同维知识产权代理

    有限公司11449

    专利代理师李秀霞

    (51)Int.Cl.

    G06F18/15(2

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