CN120048791A 一种半导体结构及其制备方法 (上海积塔半导体有限公司).pdfVIP

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  • 2026-04-15 发布于重庆
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CN120048791A 一种半导体结构及其制备方法 (上海积塔半导体有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120048791A

(43)申请公布日2025.05.27

(21)申请号202510186600.X

(22)申请日2025.02.19

(71)申请人上海积塔半导体有限公司

地址201306上海市浦东新区中国(上海)

自由贸易试验区临港新片区云水路

600号

(72)发明人齐栋洋阳黎明李钊黄永彬

(74)专利代理机构华进联合专利商标代理有限

公司44224

专利代理师王园宁

(51)Int.Cl.

H01L21/762(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

权利要求书

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