电子束与样品相互作用17课件讲解.pptxVIP

电子束与样品相互作用

电子与固体试样的交互作用一束细聚焦的电子束轰击试样表面时，入射电子与试样的原子核和核外电子将产生弹性或非弹性散射作用，并激发出反映试样形貌、结构和组成的各种信息，包括：二次电子、背散射电子、阴极发光、特征X射线、俄歇过程和俄歇电子、吸收电子、透射电子等。

电子与固体试样的交互作用样品入射电子Auger电子阴极发光背散射电子二次电子X射线透射电子

电子与固体试样的交互作用各种信息的作用深度从图中可以看出，俄歇电子的穿透深度最小，一般穿透深度小于1nm，二次电子小于10nm。

电子与固体试样的交互作用扫描电镜图象及衬度二次电子像背散射电子像