CN120033072A 一种介电材料界面的掺杂改性方法 (北京超弦存储器研究院).pdfVIP

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  • 2026-04-15 发布于重庆
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CN120033072A 一种介电材料界面的掺杂改性方法 (北京超弦存储器研究院).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120033072A

(43)申请公布日2025.05.23

(21)申请号202510174887.4

(22)申请日2025.02.18

(71)申请人北京超弦存储器研究院

地址100176北京市通州区北京经济技术

开发区科创十街18号院11号楼四层

401室

申请人北京大学

(72)发明人王润声纪志罡王达任鹏鹏

(74)专利代理机构北京万象新悦知识产权代理

有限公司11360

专利代理师贾晓玲

(51)Int.Cl.

H01L21/28(2025.01)

C23C28/04(2006.01)

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