新能源材料合成与制备 课件 第三章 化学制粉 -化学气相沉积法-4.ppt

1第三章化学法——3.4化学气相沉积法固相法3.4.1定义及原理3.4.2主要仪器设备3.4.3工艺参数的影响3.4.4化学气相沉积的特点3.1.5化学气相沉积法的应用

2古老的原始形态：古人类在取暖或烧烤时熏在岩洞壁或岩石上的褐色碳层，是木材或食物加热时释放的有机气体，经过燃烧、分解反应沉积生成岩石上的碳膜。炼丹术的“升炼技术”：银朱（丹砂）。20世纪60年代初由美国的JohnMBlocherJr等人在《VaporDeposition》中首先提出化学气相沉积法的概念。20世纪70年代以来发展迅速，成为半导体级超纯硅原料——超纯多晶硅生产的唯一方法，也是硅单晶