1;;2.2物理气相沉积法(蒸发-冷凝法)
;;;;;;;;;;;;;;;;;激光加热现多用于制备锂离子电池的薄膜材料,其中脉冲激光沉积法(PulsedLaserDeposition,PLD)是20世纪80年代发展起来的新型薄膜制备技术。
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