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微机电结构动态参数的激光测量方法

1范围

本文件描述了微机电结构动态参数激光测量的基本原理、测量方法、试验条件、仪器设备、试验样

品、试验步骤以及试验数据处理。

本文件适用于微机电结构的位移、速度、加速度、共振频率、品质因数、工作振型、模态等动态参

数测量。本文件适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电结构研制、设计、生产、校准和检测认证。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T20485.41－2015振动与冲击传感器校准方法第41部分：激光测振仪校准

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

微机电结构microelectromechanicalstructure

基于微纳制造技术制备的，部件尺寸为几毫米到几微米的功能结构。

注：微加速度传感器、微陀螺仪、微声学传感器、微压力传感器、微谐振器、微振镜等器件的主要

功能结构。

［来源：GB/T26111－2023，3.1.1，有修改］

3.2

面外振动out-of-p