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- 2026-04-24 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120048763A
(43)申请公布日2025.05.27
(21)申请号202510188082.5
(22)申请日2025.02.20
(71)申请人盛红晔半导体科技（上海）有限公司
地址201306上海市浦东新区中国（上海）
自由贸易试验区临港新片区业盛路
188号A-522室
(72)发明人郑晗张汪鹏荆亦仁
(74)专利代理机构上海科盛知识产权代理有限
公司31225
专利代理师廖程
(51)Int.Cl.
H01L21/67(2006.01)
G05D23/20(2006.01)
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