原创力文档EVALUATIONOFCMOSGATEMETAL
MATERIALSUSINGINSITUX-RAY
CHARACTERIZATION
C.Cabral,Jr.,C.Lavoie,A.S.Ozcan*,R.S.Amos,
V.Narayanan,E.Gousev,J.L.Jordan-Sweet,and
J.M.EHarper.IBMT.J.WatsonResearchCenter,
YorktownHeights,NY10598;*BostonUniversity,
Departmentof
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