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- 2026-04-18 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120060770A
(43)申请公布日2025.05.30
(21)申请号202510186597.1
(22)申请日2025.02.20
(71)申请人湖州锆石半导体材料有限公司
地址313000浙江省湖州市红丰路1366号3
幢12层1218-025室
(72)发明人张锦化王珂
(74)专利代理机构湖州询诚知识产权代理有限
公司33637
专利代理师孙艾明
(51)Int.Cl.
C23C4/12(2016.01)
C23C4/10(2016.01)
权利要求书1页说明书7页
(54)发明名
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