CN119404219A 用于处理基板的方法和装置 （应用材料公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119404219A

(43)申请公布日2025.02.07

(21)申请号202380046490.6

(22)申请日2023.06.05

(30)优先权数据

17/851,6202022.06.28US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.11

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0244022023.06.05

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/006030EN2024.01.04

(71)申请人应用材料公司

地址美国加利福尼亚州

(72)发明人