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【集成电路后端设计课题研究的文献综述3100字】.docx

【集成电路后端设计课题研究的文献综述3100字】.docx

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    集成电路后端设计课题研究的文献综述

    1.1.1.集成电路发展及现状

    自1958年第一块集成电路出现以来，集成电路飞速发展，在当今社会中发挥着越来越重要的作用。按照摩尔定律，在成本不变的前提下，集成电路的晶体管数量每18个月翻一番，性能提高一倍。如今，一块芯片上的晶体管数目超过了数十亿个，芯片金属层数超过了12层，工艺发展到纳米尺寸。如图1.1所示，IMEC展示了最新的半导体工艺发展蓝图，从图中可以看出，2021年前后世界上最先进的半导体工艺已经达到了5nm的工艺节点。

    图1.1ITF半导体工艺蓝图

    而集成电路的

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